GB/T 16594-1996 微米级长度的扫描电镜测量方法
作者:标准资料网 时间:2024-04-29 06:14:22 浏览:9564
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基本信息
标准名称: | 微米级长度的扫描电镜测量方法 |
英文名称: | Micron grade lenght measurement by SEM |
中标分类: | 仪器、仪表 >> 光学仪器 >> 电子光学与其他物理光学仪器 |
ICS分类: | 计量学和测量、物理现象 >> 长度和角度测量 >> 长度和角度测量综合 |
替代情况: | 被GB/T 16594-2008代替 |
发布部门: | 国家技术监督局 |
发布日期: | 1996-01-01 |
实施日期: | 1997-04-01 |
首发日期: | 1996-11-04 |
作废日期: | 2009-05-01 |
主管部门: | 国家标准化管理委员会 |
归口单位: | 全国微束分析标准化技术委员会 |
起草单位: | 上海市测试技术研究所 |
出版社: | 中国标准出版社 |
出版日期: | 2004-04-10 |
页数: | 平装16开, 页数:6, 字数:6千字 |
书号: | 155066.1-13653 |
适用范围
本标准规定了用扫描电镜测量微米级长度的方法,适用于测量0.5~10μm的长度,也适用于电子探针分析仪测量微米级长度。
前言
没有内容
目录
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引用标准
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所属分类: 仪器 仪表 光学仪器 电子光学与其他物理光学仪器 计量学和测量 物理现象 长度和角度测量 长度和角度测量综合
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